Die Kooperation von Steinmeyer-Gruppe und Feinmess Suhl hat ein winziges DUV-Polarisationsfilter entwickelt, das mit Abmessungen von 120 × 180 × 31 mm drei separat steuerbare Filtereinheiten auf 75 mm Hub kombiniert. Elektrisch kommutierte DC-Motoren fahren trockengleitende Edelstahl-PEEK-Gleitgewindespindeln für 1,5 µm Positioniergenauigkeit. Stickstoffinertisierung und wartungsfreier Dauerbetrieb ermöglichen 24/7-Einsatz ohne Schmierstoffbedarf, während die Partikelkonzentration im Reinraum dauerhaft minimal bleibt. Die Konstruktion nutzt Gewinderollen-Kaltumformung, Klasse-6-Reinraumfertigung und Klasse-1-Reinigung für höchste Oberflächengüte, minimale Ausgasung.
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Silicon Saxony Zentrum vereint 400 Jahre Expertise in Präzisionstechnik
Der Gleitgewindetrieb hat einen Spindeldurchmesser von 3 mm (Foto: Steinmeyer Gruppe)
Die Fachkompetenz der Steinmeyer-Gruppe aus Dresden setzt Maßstäbe in maßgeschneiderten Positionierlösungen für die Halbleiterindustrie. Als integraler Teil des größten europäischen IKT- und Mikroelektronik-Clusters in Silicon Saxony bündelt das Unternehmen über 400 Jahre Erfahrung in Antriebs-, Positionier- und Präzisionsmesstechnik. Zusammen mit Feinmess Suhl entstehen kompromisslose Systeme, die höchste Anforderungen an Reinraumtauglichkeit, Lebensdauer und submikrometergenaue Präzision erfüllen und Prozesssicherheit auf Spitzenniveau garantieren. Diese Systeme steigern langfristig Durchsatz, verbessern Prozessstabilität und reduzieren Ausfallzeiten.
Drei 75 mm verfahrbare Polarisationsfilter gesteuert durch präzise bürstenlose DC-Motoren
Mit kompakten Abmessungen von 120 × 180 × 31 mm und einer Aufbauhöhe von 15 mm integriert die Polarisationsfilter-Baugruppe drei Flächenelemente, die unabhängig auf bis zu 75 mm verschoben werden können. Die Umsetzung erfolgt über drei elektronisch kommutierte DC-Motoren, die jeweils individuell geregelte Gleitgewindetriebe antreiben. Dieses Add-on erweitert bestehende Wafer-Stepper um präzise Strahlsteuerung und sorgt für miniaturisierte, automatisierte DUV-Belichtungsprozesse bei hoher Wiederholgenauigkeit und Zuverlässigkeit. Leistung und Effizienz nachhaltig optimiert.
Edelstahl und PEEK-Nuten bieten Gleitfähigkeit, Wärmeabfuhr, Stabilität ohne Schmierung
Die Kombination aus nicht-rostendem Edelstahl (Spindel) (Foto: Feinmess Suhl GmbH)
Das Erzeugen einer sauerstofffreien Stickstoffatmosphäre führt zu tribologischen Effekten, die sonst nur im Hochvakuum beobachtet werden. Um den strengen Anforderungen gerecht zu werden, kommen ausschließlich Werkstoffe mit besonders glatten, geringer Ausgasung und minimalster Partikelproduktion in Betracht. Steinmeyer und Feinmess Suhl entschieden sich daher für die Kombination von rostfreiem Edelstahl mit PEEK-Muttern, die mit schmierstoffhaltigen Additiven dotiert sind, um herausragende maximale Gleitfähigkeit, effektive Wärmeleitung und Stabilität ohne Flüssigschmierstoff zu realisieren.
Selbsthemmender Edelstahl-PEEK Gleitgewindetrieb garantiert hochpräzise zehn Jahre zuverlässige Positionierung
Feinmess Suhl setzt beim Gleitgewindetrieb M3x1P0.5 auf Gewinderollen und spanloses Kaltumformen, um eine ultrafeine Oberflächenstruktur mit geringen Reibwerten zu schaffen. Die Struktur verhindert Verschleiß und garantiert dauerhafte Selbstragfähigkeit durch Selbsthemmung. Damit entfallen zusätzliche Sicherungselemente. Mit 3 mm Spindeldurchmesser, 112 mm Länge und einer Wiederholgenauigkeit von 1,5 µm eignet sich das System für hochpräzise Positionieranwendungen. Sein robuster Aufbau sichert einen störungsfreien Betrieb über mindestens zehn Jahre.
Vakuumgerechte Herstellung und ISO 14644-1 Reinigung garantieren höchste Reinraumqualität
Ultrakompakte, hochpräzise Positionierlösung zur Wafer-Belichtung (Foto: Bild: Steinmeyer Gruppe)
Vakuumgerechte Konstruktion aller Teile minimiert das Risiko von Kontamination durch Luft oder Feuchtigkeit. Die Endmontage findet in ISO Klasse 6 Reinräumen statt, um Partikelschleppungen auszuschließen. Anschließende Reinigung nach ISO 14644-1 Klasse 1 sorgt für ultrareine Oberflächen. Insgesamt stehen über 3.900 Quadratmeter Reinraumkapazität zur Verfügung, um variable Projekte abzubilden. Für den Versand werden Stickstoff-Inertgaspackungen eingesetzt, die eine bestmögliche Partikelfreiheit bieten und Lieferungen sicher schützen und garantieren höchste Zuverlässigkeit bei Anwendung.
Trockengeschmierte Gleitgewindetriebe treffen auf flüssigkeitsgeschmierte Kugelgewindetriebe für maximale Präzision
Anwenderorientierte Auswahl des optimalen Linearantriebs ermöglicht Steinmeyer über August Steinmeyer: Gleitgewindetriebe mit Trockenschmierung für wartungsarmen Dauerbetrieb oder hochgenaue Kugelgewindetriebe mit gezielter Flüssigschmierung, anwendungsabhängig konfigurierbar. Das modulare Baukastenprinzip und international erprobte Fertigungsprozesse garantieren perfekte Abstimmung auf Handlingaufgaben, präzise Inspektionen und hochdynamische EUV-Positionierung. Durch tribologisch optimierte Werkstoffkombinationen, präzise Gewinderollung und Spezialschmierstoffe erreicht das Portfolio minimierte Reibwerte, lange Lebensdauer und hohe Wirtschaftlichkeit. Profiteure investieren in exakt passende Performance.
Das ultrakompakte DUV-Polarisationsfilter-Modul misst lediglich 120 × 180 × 31 mm und lässt sich als Plug-in in bestehende Belichtungslinien integrieren. Alle Gleitgewindetriebe aus Edelstahl und PEEK arbeiten trocken und verschleißarm, um stabile Verfahrwege mit 1,5 µm Präzision zu gewährleisten. In einer sauberen Stickstoffatmosphäre montiert und ISO-gereinigt, erreicht das System höchste Reinheitsstandards. Wartungsfreier 24/7-Betrieb reduziert Stillstandzeiten und steigert Ausbeute nachhaltig für Anwender im Silicon Saxony. Es repräsentiert Spitzentechnologie Made in Germany.
